自清洁薄膜材料及制备方法

近十年来，利用等离子体方法制备氟碳薄膜，已掀起全球性的热潮，目前世界上有数十个研究小组在进行这方面的研究工作。我国在这方面的研究还相对缺乏，目前我们只发现一些研究者使用磁控溅射方法沉积具有类金刚石薄膜结构的FC薄膜，拟在制备具有较高硬度的保护性薄膜，但是未见有大面积沉积报道，使用传统的等离子体沉积因真空成本高，在玻璃、纸张上大面积沉积氟碳薄膜困难。

本技术涉及薄膜材料，自清洁薄膜材料，绝缘材料表面沉积氟碳薄膜。本技术所提供的产品，具有较高的疏水性，可以达到自清洁不染灰尘，特别是带有氟碳薄膜的纸张，其性能较普通纸张具有更强的疏水性，更强的耐腐蚀性，适用于一些需要长期保存、耐水及耐腐蚀的应用场所，具有更深远的使用价值。另外本技术制备方法独特，结合所使用的设备，放电方式简单，设备成本低；放电室气体间隙小(通常几毫米)，气体体积小，流量低；能耗低等，可实现大批量工业化生产，以使其应用更加广泛。

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